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ASC 5521加速度傳感器基于電容式MEMS技術，可在0Hz以下的低頻響應中使用。在傳感器元件內(nèi)部，地震質(zhì)量與兩個導電電容板連接。如果地震質(zhì)量在兩個電容板之間振蕩，電容就會發(fā)生變化。這種電容變化通過ASIC（應用特定的集成電路）轉(zhuǎn)換成模擬信號。

ASC 4421加速度傳感器基于電容式MEMS技術，可在0Hz以下的低頻響應中使用。在傳感器元件內(nèi)部，地震質(zhì)量與兩個導電電容板連接。如果地震質(zhì)量在兩個電容板之間振蕩，電容就會發(fā)生變化。這種電容變化通過ASIC（應用特定的集成電路）轉(zhuǎn)換成模擬信號。

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